Закономерности образования и роста вакуумных покрытий
Рефераты по химии / Закономерности образования и роста покрытий / Закономерности образования и роста вакуумных покрытийСтраница 1
Элементарные процессы, протекающие на поверхности при образовании покрытий, в значительной степени зависят от условий и режимов формирования тонкопленочной системы, технологии нанесения покрытий. В случае осаждения покрытия в вакууме из газового потока кинетика роста покрытий, их структура и свойства зависят от следующих основных параметров:
1. Давления остаточных газов в вакуумной камере. Достаточно обосновано эмпирическое правило: чем выше давление в камере, тем ниже качество покрытия.
2. Плотности потока падающих на поверхность атомов j. При возрастании j, как правило, происходит более интенсивное зародышеобразование конденсированной фазы и повышается сплошность покрытия, увеличивается его адгезионная прочность и коррозионная стойкость.
3. Температуры поверхности подложки. При ее повышении формируется покрытие с более равновесной структурой. Однако при этом снижается его сплошность и скорость осаждения. Изменение температуры покрытия после его нанесения может быть причиной полиморфных превращений, которые, в общем случае, оказывают сложное влияние на их структуру и свойства.
4. Степени ионизации и энергии падающих атомов. Повышение степени ионизации и энергии падающих атомов до определенного предельного значения способствуют повышению качества осаждаемого покрытия. При больших значениях энергии атомов, взаимодействующих с поверхностью и участвующих в процессах роста пленки, возможно образование в ней структурных дефектов и даже, при определенных режимах, – травление растущего покрытия.
Процесс осаждения вакуумных покрытий является многофакторным и достаточно сложным. Рассмотрим основные стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока.
|
1. Энергообмен (аккомодация) с поверхностными атомами подложки. В зависимости от условий энергообмена, природы взаимодействующего атома и атомов подложки возможны две взаимоисключающие друг друга ситуации (рисунок 5):
а) атом упруго отразился;
б) атом закрепился на поверхности – перешел в адсорбированное состояние.
Рисунок 5 – Взаимодействие атомов с поверхностью
Для характеристики термической аккомодации используют коэффициент аккомодации ат, который определяет долю энергии, переданной атомам поверхности при взаимодействии. Если распределение по энергии падающих и исходящих с поверхности атомов подчиняется закону Максвелла, то
ат или ат,
где Е¯ и Т¯ – энергия и температура атомов, поступающих на поверхность; Е и Т – энергия и температура атомов, уходящих в газовую фазу; Еп и Тп –энергия и температура атомов подложки.
При Е=Еп имеем ат=1, т. е. наблюдается полная аккомодация. Считается, что всегда при реализующихся на практике условиях и режимах осаждения ат£1.
Установлено, что практически полный энергообмен между атомами на поверхности происходит за время, равное двум периодам согласованных колебаний адсорбированного атома (адатома) и атома подложки: tт»2tо (tо– период колебаний атомов в решетке, tо~ 10-12…10-13с).
Информация о химии
Макмиллан (McMillan), Эдвин Маттисон
Американский физик Эдвин Маттисон Макмиллан родился в Редондо-Бич (штат Калифорния), в семье врача Эдвина Харбо Макмиллана и Анны Марии (Маттисон) Макмиллан. Семья вскоре переехала в Пасадену, где Макмиллан получил начальное и сре ...
Методические рекомендации и разработки содержания школьного химического эксперимента в системе проблемного обучения
Известно, что большая часть, проводимых в школе опытов имеет иллюстративный характер и используется только для подтверждения изучаемых явлений. Вместе с тем учащимся 9-10-х, и, особенно, 11-х классов, целесообразно пр ...
Термохимия
Термохи́мия — раздел химической термодинамики, в задачу которой входит определение и изучение тепловых эффектов реакций, а также установление их взаимосвязей с различными физико-химическими параметрами. Ещё одной из зад ...